909 проект бик зур масштаблы интеграль челтәр фабрикасы - тугызынчы бишьеллык планы вакытында минем илнең электроника сәнәгатенең зур төзелеш проекты, сызык киңлеге 0,18 микрон һәм диаметры 200 мм.
Бик зур масштаблы интеграль схемалар җитештерү технологиясе микро эшкәртү кебек югары төгәл технологияләрне үз эченә алмый, газ чисталыгына да зур таләпләр куя.
909-нчы проект өчен күпчелек газ белән тәэмин итү АКШ-ның Praxair Utility Gas Co., Ltd һәм Шанхайдагы тиешле яклар белән уртак газ предприятиясе белән тәэмин ителә. Газ җитештерү заводы 909 проект заводы белән янәшә. якынча 15,000 квадрат метр мәйданны биләгән бина. Төрле газларның чисталыгы һәм чыгу таләпләре
Airгары чисталыклы азот (PN2), азот (N2), һәм югары чисталыклы кислород (PO2) һаваны аеру аркасында җитештерелә. Purгары чисталыклы водород (PH2) электролиз белән җитештерелә. Аргон (Ар) һәм гелий (Ул) аутсорсингта сатып алына. 909-нчы проектта куллану өчен квази-газ чистартыла һәм фильтрлана. Махсус газ шешәләрдә китерелә, һәм газ шешәсе шкафы интеграль электр җитештерү заводының ярдәмче остаханәсендә урнашкан.
Башка газларга шулай ук чиста коры кысылган һава CDA системасы керә, куллану күләме 4185m3 / с, басым чык ноктасы -70 ° C, һәм куллану ноктасында газда 0,01умнан артмаган кисәкчәләр зурлыгы. Кысылган һава (BA) системасы, куллану күләме 90м3 / с, басым чык ноктасы 2 use, куллану ноктасында газдагы кисәкчәләр күләме 0,3умнан артмый, вакуум (ПВ) системасы, куллану күләме 582m3 / с, куллану ноктасында вакуум дәрәҗәсе -79993Pa. Вакуум (HV) системасын чистарту, куллану күләме 1440m3 / с, вакуум дәрәҗәсе -59995 Па. Airава компрессоры бүлмәсе һәм вакуум насос бүлмәсе икесе дә 909 проект заводында урнашкан.
Торба материалларын һәм аксессуарларны сайлау
VLSI җитештерүдә кулланылган газ бик югары чисталык таләпләренә ия.Purгары чисталыклы газүткәргечләргадәттә чиста производство шартларында кулланыла, һәм аларның чисталыгын контрольдә тоту кулланыла торган мәйданның чисталык дәрәҗәсенә туры килергә тиеш! Моннан тыш, югары чиста газ үткәргечләре чиста җитештерү шартларында еш кулланыла. Чиста водород (PH2), югары чисталыклы кислород (PO2) һәм кайбер махсус газлар янып торган, шартлаткыч, янучан яки агулы газлар. Әгәр дә газүткәргеч системасы дөрес эшләнмәсә яки материаллар дөрес сайланмаса, газ ноктасында кулланылган газның чисталыгы гына кимемәячәк, ул шулай ук уңышсыз булачак. Бу процесс таләпләренә туры килә, ләкин куллану куркынычсыз һәм чиста заводның пычрануына китерәчәк, чиста заводның куркынычсызлыгына һәм чисталыгына тәэсир итә.
Куллану ноктасында югары чисталыклы газ сыйфатын гарантияләү газ җитештерүнең, чистарту җиһазларының һәм фильтрларның төгәллегенә генә бәйле түгел, күпчелек очракта торбаүткәргеч системасының күп факторларына тәэсир итә. Әгәр дә без газ җитештерү җиһазларына, чистарту җиһазларына һәм фильтрларга таянсак, газ үткәргеч системасы дизайны яки материал сайлау өчен компенсацияләү өчен чиксез югары төгәл таләпләр кую дөрес түгел.
909 проектын проектлау барышында без "Чиста үсемлекләр дизайны коды" GBJ73-84 (хәзерге стандарт (GB50073-2001)), "Кысылган һава станцияләрен проектлау коды" GBJ29-90, "Код. Кислород станцияләрен проектлау өчен "GB50030-91," Водород һәм кислород станцияләрен проектлау коды "GB50177-93, һәм торба материалларын һәм аксессуарларны сайлау өчен тиешле техник чаралар. "Чиста үсемлекләрне проектлау коды" торба материалларын һәм клапаннарны түбәндәгечә сайлый:
. электрополизацияләнгән эчке стенаны кулланырга кирәк. Клапан диафрагма клапан яки клапан клапаны булырга тиеш.
(2) Әгәр газ чисталыгы 99,99% тан зуррак яки тигез булса һәм чык ноктасы -60 ° C-тан түбән булса, OCr18Ni9 дат басмас корыч труба (304) кулланылырга тиеш. Яна торган газүткәргечләр өчен кулланылырга тиешле клапаннардан кала, шар клапаннары башка газүткәргечләр өчен кулланылырга тиеш.
(3) Әгәр коры кысылган һаваның чык ноктасы -70 ° C-тан түбән булса, OCr18Ni9 дат басмас корыч торба (304) кулланылырга тиеш. Әгәр чык ноктасы -40 thanдан түбән булса, OCr18Ni9 дат басмас корыч торба (304) яки кайнар гальванизацияләнгән корыч торба кулланылырга тиеш. Клапан клапан яки шар клапан булырга тиеш.
(4) Клапан материалы тоташтыручы торба материалы белән туры килергә тиеш.
Спецификацияләр һәм тиешле техник чаралар таләпләренә туры китереп, без торба материалларын сайлаганда түбәндәге аспектларны карыйбыз:
(1) Торба материалларының һава үткәрүчәнлеге кечкенә булырга тиеш. Төрле материалларның торбалары төрле һава үткәрүчәнлегенә ия. Әгәр дә зуррак һава үткәрүчәнлеге булган торбалар сайланса, пычрануны бетереп булмый. Датсыз корыч торбалар һәм бакыр торбалар атмосферада кислородның үтеп керүен һәм коррозиясен булдырмас өчен яхшырак. Ләкин, пасовкасыз корыч торбалар бакыр торбаларга караганда азрак актив булганлыктан, бакыр торбалар атмосферадагы дымның эчке өслекләренә үтеп керүдә активрак. Шуңа күрә, югары чисталыклы газ үткәргечләре өчен торбалар сайлаганда, беренче сайлау булырга тиеш.
(2) Торба материалының эчке өслеге adsorbed һәм газны анализлауга аз тәэсир итә. Дат басмаган корыч торба эшкәртелгәннән соң, аның металл тактасында билгеле күләмдә газ сакланачак. Highгары чисталыклы газ үтеп киткәч, газның бу өлеше һава агымына керәчәк һәм пычрануга китерәчәк. Шул ук вакытта, adsorption һәм анализ аркасында торбаның эчке өслегендәге металл шулай ук билгеле күләмдә порошок җитештерәчәк, югары чисталык газына пычрану китерә. Чисталыгы 99,999% яки ppb дәрәҗәсеннән торбалар өчен 00Cr17Ni12Mo2Ti аз углеродлы дат басмас корыч торба (316L) кулланылырга тиеш.
(3) Дат басмас корыч торбаларның тузу чыдамлыгы бакыр торбаларга караганда яхшырак, һәм һава агымы эрозиясе аркасында тудырылган металл тузан чагыштырмача азрак. Чисталыкка таләпләре зур булган җитештерү остаханәләре 00Cr17Ni12Mo2Ti аз углеродлы дат басмас корыч торбалар (316L) яки OCr18Ni9 дат басмас корыч торбалар (304) куллана ала, бакыр торбалар кулланылмый.
.EP ультра чиста торбаларкулланырга тиеш. Чиста “ультра-шома эчке өслеге белән”.
(5) productionитештерү процессында кулланылган махсус газүткәргеч системаларының кайберләре коррозив газлар. Бу торба системаларындагы торбалар коррозиягә чыдам, тотрыксыз корыч торбаларны торбалар итеп кулланырга тиеш. Otherwiseгыйсә, коррозия аркасында торбалар бозылачак. Әгәр дә коррозия таплары барлыкка килсә, гади корыч торбалар яки гальванизацияләнгән эретелгән корыч торбалар кулланылырга тиеш түгел.
(6) Нигездә, барлык газүткәргеч элемтәләрен эретеп ябыштырырга кирәк. Гальванизацияләнгән корыч торбаларны эретү гальванизацияләнгән катламны юк итәчәк, шуңа күрә чиста бүлмәләрдәге торбалар өчен гальванизацияләнгән корыч торбалар кулланылмый.
Aboveгарыда күрсәтелгән факторларны исәпкә алып, & 7 & проектта сайланган газүткәргеч торбалар һәм клапаннар түбәндәгечә:
Azгары чисталыклы азот (PN2) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti түбән углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электрополизацияләнгән эчке диварлардан, һәм клапаннар шул ук материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Азот (N2) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti аз углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электрополизацияләнгән эчке диварлардан, һәм клапаннар бер үк материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Cгары чисталыклы водород (PH2) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti түбән углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электрополизацияләнгән эчке диварлар белән эшләнгән, һәм клапаннар шул ук материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Cгары чисталыклы кислород (PO2) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti аз углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электро-бизәлгән эчке диварлар белән эшләнгән, һәм клапаннар бер үк материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Аргон (Ar) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti түбән углеродлы дат басмас корыч торбалардан эшләнгән (316L), электрополизацияләнгән эчке диварлар, һәм шул ук материалның дат басмас корыч клапаннары кулланыла.
Гелий (Ул) система торбалары 00Cr17Ni12Mo2Ti түбән углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электрополизацияләнгән эчке диварлардан, һәм клапаннар шул ук материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Чиста коры кысылган һава (CDA) система торбалары OCr18Ni9 дат басмас корыч торбалардан (304), эчке диварлары белән бизәлгән, һәм клапаннар бер үк материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
Сулыш алган кысылган һава (BA) система торбалары OCr18Ni9 дат басмас корыч торбалардан (304), эчке диварлары белән, һәм клапаннар бер үк материалның дат басмас корыч шар клапаннарыннан эшләнгән.
Вакуум (ПВ) система торбалары UPVC торбаларыннан, һәм клапаннар шул ук материалдан ясалган вакуум күбәләк клапаннарыннан.
Чистарту вакуумы (HV) система торбалары UPVC торбаларыннан, һәм клапаннар шул ук материалдан ясалган вакуум күбәләк клапаннарыннан.
Махсус газ системасы торбалары барысы да 00Cr17Ni12Mo2Ti аз углеродлы дат басмас корыч торбалардан (316L) электрополизацияләнгән эчке диварлардан, һәм клапаннар бер үк материалның дат басмас корыч клапаннарыннан эшләнгән.
3 Торба үткәргечләрен төзү һәм урнаштыру
3.1 "Чиста завод төзелеше проектлау кодексы" 8.3 бүлегендә торба үткәргечләрен тоташтыру өчен түбәндәге нигезләмәләр каралган:
.
.
(3) Торба үткәргечләре һәм җиһазлар арасындагы бәйләнеш җиһазның тоташу таләпләренә туры килергә тиеш. Шланг тоташуларын кулланганда металл шланглар кулланылырга тиеш.
(4) Торба үткәргечләре белән клапаннар арасындагы бәйләнеш түбәндәге кагыйдәләргә туры килергә тиеш
High purгары чисталыклы газ үткәргечләрен һәм клапаннарны тоташтыручы мөһерләү материалы җитештерү процессы таләпләренә һәм газ характеристикасына туры китереп металл шкафлар яки икеләтә ферруллар кулланырга тиеш.
Thread threadепле яки фланг тоташуындагы мөһерләү материалы политетрафлуоретилен булырга тиеш.
3.2 Спецификацияләр һәм тиешле техник чаралар таләпләренә туры китереп, югары чисталыклы газүткәргечләрне тоташтыру мөмкин кадәр эретеп ябыштырылырга тиеш. Эретеп ябыштыру вакытында туры төймә эретүдән сакланырга кирәк. Торба җиңе яки әзер буыннар кулланылырга тиеш. Торба җиңнәре торбалар белән бер үк материалдан һәм эчке өслек яссылыгыннан булырга тиеш. дәрәҗә, эретеп ябыштыру вакытында, эретеп ябыштыручы өлешнең оксидлашуына юл куймас өчен, эретеп торбага саф саклагыч газ кертергә кирәк. Дат басмас корыч торбалар өчен аргон дугасын эретеп ябыштырырга, торбага шул ук чисталыктагы аргон газын кертергә кирәк. Threadепле тоташу яки җепле тоташу кулланылырга тиеш. Флангларны тоташтырганда, җепле тоташу өчен ферруллар кулланылырга тиеш. Кислород торбаларыннан һәм водород торбаларыннан кала, алар металл кәрәзләрне кулланырга тиеш, бүтән торбалар политетрафлуоретилен савытларны кулланырга тиеш. Силикон каучукны савытка куллану да нәтиҗәле булачак. Мөһерләү эффектын көчәйтү. Фланг тоташканда шундый ук чаралар күрелергә тиеш.
Урнаштыру эше башланганчы, торбаларны җентекләп визуаль тикшерү,арматура, клапаннар һ.б. башкарылырга тиеш. Гади дат басмас корыч торбаларның эчке стенасы монтажланганчы ашатылырга тиеш. Кислород торбаларының торбалары, арматура, клапан һ.б. нефтьтән катгый тыелырга тиеш, һәм монтаж алдыннан тиешле таләпләр буенча катгый бозылырга тиеш.
Система урнаштырылганчы һәм кулланылганчы, тапшыру һәм тарату торбасы системасы китерелгән югары чисталык газы белән тулысынча чистартылырга тиеш. Бу урнаштыру процессында очраклы рәвештә системага төшкән тузан кисәкчәләрен селкетеп кенә калмый, торба диварында һәм хәтта торба материалында сеңгән дымлы газның бер өлешен чыгарып, торба үткәргеч системасында киптерү ролен башкара.
4. Торба үткәргеч басымын сынау һәм кабул итү
(1) Система урнаштырылганнан соң, махсус газүткәргечләрдә бик агулы сыеклыклар ташучы торбаларны 100% радиографик тикшерү үткәрелә, һәм аларның сыйфаты II дәрәҗәдән түбән булмаска тиеш. Башка торбалар радиографик инспекциягә алынырга тиеш, һәм сайлау инспекциясе 5% тан ким булмаска тиеш, сыйфаты III класстан түбән булмаска тиеш.
2) Деструктив булмаган инспекцияне үткәннән соң, басым сынавы үткәрелергә тиеш. Торба системасының коры һәм чисталыгын тәэмин итү өчен, гидротехник басым сынавы үткәрелергә тиеш түгел, ә пневматик басым сынавы кулланылырга тиеш. Airава басымын сынау чиста бүлмәнең чисталык дәрәҗәсенә туры килгән азот яки кысылган һава ярдәмендә үткәрелергә тиеш. Бору үткәргечнең сынау басымы конструкция басымыннан 1,15 тапкыр, вакуум торбаның сынау басымы 0,2МПа булырга тиеш. Тест вакытында басым әкренләп әкренләп артырга тиеш. Тест басымының басымы 50% ка күтәрелгәч, аномальлек яки агып чыкмаса, басымны 10% ка арттырыгыз, һәм басымны һәр дәрәҗәдә 3 минутка тотрыклыландырыгыз. . 10 минутка басымны тотрыклылагыз, аннары басымны дизайн басымына киметегез. Басымны туктату вакыты агып чыгу ихтыяҗларына карап билгеле булырга тиеш. Күпчелек агент агып чыкмаса квалификацияле.
(3) Вакуум системасы басым сынавын үткәннән соң, проект документлары буенча 24 сәгать вакуум дәрәҗәсе сынавын үткәрергә тиеш, һәм басым дәрәҗәсе 5% тан артмаска тиеш.
(4) Саклау тесты. Ppb һәм ppt класслы торбаүткәргеч системалары өчен, тиешле спецификацияләр буенча, агып чыгу квалификацияле дип саналырга тиеш түгел, ләкин агып чыгу күләмен сынау проектлау вакытында кулланыла, ягъни агып чыгу күләмен сынау һава тыгызлыгы сынавыннан соң үткәрелә. Басым - эш басымы, һәм басым 24 сәгатькә туктатыла. Сәгатьнең уртача агымы квалификацияле 50ppm-тан кимрәк яки тигез. Саклауны исәпләү түбәндәгечә:
А = (1-П2Т1 / П1Т2) * 100 / Т.
Формулада:
Бер сәгатьлек агып чыгу (%)
П1-Тест башында абсолют басым (Па)
P2-Тест ахырында абсолют басым (Па)
Тест башында Т1-абсолют температура (К)
Тест ахырында Т2-абсолют температура (К)
Пост вакыты: 12-2023 декабрь