1. Күпләп газ системасы төшенчәсе:
Инерт газларын саклау һәм басым белән идарә итү Газ төрләре: Типик инерт газлары (азот, аргон, кысылган һава һ.б.)
Торба үткәргечнең зурлыгы: 1/4 (мониторинг үткәргече) дән 12 дюймлы төп торба
Системаның төп продуктлары: диафрагма клапан / клапан клапан / шар клапан, югары чисталык тоташтыручы (VCR, эретеп ябыштыру формасы), феррул тоташтыручы, басым көйләүче клапан, басым үлчәү һ.б.
Хәзерге вакытта яңа системага күпчелек махсус газ системасы керә, ул саклау һәм ташу өчен тотрыклы газ баллоннарын яки танк йөк машиналарын куллана.
2. Чистарту системасы Аңлатма:
Highгары чисталыклы газүткәргечләр өчен күпчелек газлардан пычракларны чыгару
3. Газ шкафлары Аңлатма:
Махсус газ чыганаклары (агулы, ялкынлы, реактив, коррозив газлар) өчен басымны контрольдә тоту һәм агым мониторингы белән тәэмин итү, һәм газ баллоннарын алыштыру мөмкинлеге бар.
Урыны: Махсус газларны саклау өчен Суб-фаб идәнендә яки аскы катта урнашкан Чыганак: NF3, SF6, WF6 һ.б.
Торба үткәргечнең зурлыгы: Эчке газүткәргеч, гадәттә процесс үткәргече өчен 1/4 дюйм, 1 / 4-3 / 8 дюйм, нигездә, югары чисталыклы азот чистарту торбасы өчен.
Төп продуктлар: purгары чисталыклы диафрагма клапаннары, тикшерү клапаннары, басым үлчәүләре, басым үлчәүләре, югары чисталык тоташтыргычлары (VCR, эретеп ябыштыру формасы) Бу газ шкафлары, нигездә, газ белән тәэмин итүне һәм цилиндрларны куркынычсыз алыштыруны тәэмин итү өчен, цилиндрлар өчен автоматик күчү мөмкинлекләрен үз эченә ала.
4. Таркату төшенчәсе:
Газ чыганагын газ җыю кәтүкенә тоташтыру
Сызык зурлыгы: Чип заводында күпчелек газ тарату торбасының зурлыгы гадәттә 1/2 дюймдан 2 дюймга кадәр.
Бәйләнеш формасы: Махсус газүткәргечләр, гадәттә, эретеп ябыштыру белән тоташтырыла, бернинди механик тоташу яки башка хәрәкәтләнүче өлешләрсез, нигездә эретеп ябыштыру ныклы мөһер ышанычлылыгы булганга.
Чип фабрикасында газ җибәрү өчен тоташтырылган йөзләгән километр торбалар бар, алар озынлыгы 20 футка якын һәм бергә эретәләр. Кайбер торбалар иелү һәм трубкалы эретеп ябыштыру тоташулары да бик еш очрый.
5. Күп функцияле клапан тартмасы (Клапан манифольд тартмасы, VMB) Аңлатма:
Бу газ чыганагыннан төрле җиһаз очларына махсус газлар тарату.
Эчке торба күләме: 1/4 дюйм процесс торбасы, һәм 1/4 - 3/8 дюйм чистарту торбасы. Система компьютер контролен кулланып, эшләнгән клапаннарны яки кул клапаннары белән түбән бәяле ситуацияләрне таләп итә ала.
Система продуктлары: югары чисталыклы диафрагма клапаннары / клапаннар, тикшерү клапаннары, югары чисталык буыннары (VCR, микро эретеп ябыштыру формасы), басымны көйләүче клапаннар, басым үлчәүләре һәм басым үлчәүләре һ.б. Кайбер инерт газларын тарату өчен, Клапан манифольд панели. - VMP (күп функцияле клапан диск) кулланыла, ул ачык газ диск өслегенә ия, ябык космик дизайн һәм өстәмә азот чистартуны таләп итми.
6. Икенчел клапан тәлинкәсе / тартма (Tool Hookup Panel) Аңлатма:
Ярымүткәргеч җиһазлары таләп иткән газны газ чыганагыннан җиһаз ахырына тоташтырыгыз һәм тиешле басым көйләүләрен тәэмин итегез. Бу панель газ белән идарә итү системасы, җиһаз ахырына VMB (күп функцияле клапан тартмасы) белән якынрак.
Газ торбасының зурлыгы: 1/4 - 3/8 дюйм
Сыек торба зурлыгы: 1/2 - 1 дюйм
Агызу торбасының зурлыгы: 1/2 - 1 дюйм
Төп продуктлар: диафрагма клапан / кыңгыраулы клапан, бер яклы клапан, басымны көйләүче клапан, басым үлчәү, басым үлчәү, югары чисталык кушылмасы (VCR, микро эретеп ябыштыру), феррул кушылмасы, шар клапан, шланг һ.б.
Пост вакыты: 22-2024 ноябрь