As ярымүткәргечһәм микроэлектроника технологияләре югарырак җитештерүчәнлеккә һәм югарырак интеграциягә таба үсеш алган саен, электрон махсус газларның сафлыгына югарырак таләпләр куела. Югары чисталыктагы газ торбалары технологиясе югары чисталыктагы газ белән тәэмин итү системасының мөһим өлеше булып тора. Бу сыйфатны саклап калып, газ куллану нокталарына таләпләргә туры килә торган югары чисталыктагы газларны җиткерү өчен төп технология.
Югары сыйфатлы торбалар технологиясе системаны дөрес проектлауны, торба фитингларын һәм ярдәмче материалларны сайлауны, төзелеш һәм урнаштыруны һәм сынауны үз эченә ала.
01 Газ тапшыру торбаларының гомуми төшенчәсе
Барлык югары чисталык һәм югары чисталыклы газларны да терминал газ ноктасына торбаүткәргечләр аша ташырга кирәк. Газ өчен процесс сыйфаты таләпләрен үтәү өчен, газ экспорты индексы билгеле булганда, торба системасының материал сайлау һәм төзелеш сыйфатына игътибар итү кирәк. Газ җитештерү яки чистарту җиһазларының төгәллегеннән тыш, моңа торбаүткәргеч системасының күп факторлары зур йогынты ясый. Шуңа күрә торбаларны сайлауда чистарту тармагының тиешле принципларына туры килергә һәм сызымнарда торбаларның материалын билгеләргә кирәк.
02 Газ транспортында югары чисталыклы торбаүткәргечләрнең әһәмияте
Югары чисталыктагы газ ташуда югары чисталыктагы торбаүткәргечләрнең әһәмияте Дат басмас корыч эретү процессында һәр тонна якынча 200 г газны сеңдерә ала. Дат басмас корыч эшкәртелгәннән соң, аның өслегенә төрле пычраткыч матдәләр генә түгел, ә металл рәшәткәсендә билгеле бер күләмдә газ да сеңдерелә. Торбаүткәргеч аша һава агымы үткәндә, металл сеңдергән газ өлеше һава агымына кире керәчәк һәм чиста газны пычратачак.
Торбадагы һава агымы өзек булганда, торба үтүче газда басым адсорбциясе барлыкка китерә. Һава агымы үтүдән туктагач, торба тарафыннан адсорбцияләнгән газ басымны киметү анализын барлыкка китерә, һәм анализланган газ шулай ук торбадагы саф газга катнашма буларак керә.
Шул ук вакытта, адсорбция һәм анализ циклы торбаның эчке өслегендәге металлның билгеле бер күләмдә порошок барлыкка китерүенә китерәчәк. Бу металл тузан кисәкчәсе шулай ук торбадагы чиста газны пычрата. Торбаның бу үзенчәлеге бик мөһим. Ташылган газның сафлыгын тәэмин итү өчен, торбаның эчке өслегенең гаять югары шомалыгы гына түгел, ә югары тузуга чыдамлыгы да кирәк.
Газ көчле коррозия үзлекләренә ия булганда, торбалар өчен коррозиягә чыдам дат басмас корыч торбалар кулланырга кирәк. Югыйсә, коррозия аркасында торбаның эчке өслегендә коррозия таплары барлыкка киләчәк. Авыр очракларда зур металл кисәкләре кабыгып төшәчәк яки хәтта тишеләчәк, шуның белән ташыла торган саф газ пычраначак.
03Торба материалы
Торба материалын сайлау куллану ихтыяҗларына туры китереп сайларга кирәк. Торба сыйфаты, гадәттә, торбаның эчке өслегенең тупаслыгына карап үлчәнә. Тупаслык ни кадәр түбән булса, аның кисәкчәләр йөртү ихтималы шулкадәр азрак. Гомумән алганда, алар өч төргә бүленә:
БерсеEP класслы 316L торбасы, электролитик яктан ялтыратылган (электро-полиш). Ул коррозиягә чыдам һәм өслекнең тигезсезлеге түбән. Rmax (максималь пиктан үзән биеклегенә кадәр) якынча 0,3 мкм яки аннан да кимрәк. Ул иң югары яссылыкка ия һәм микро-бөрелеш агымнарын барлыкка китерү җиңел түгел. Пычранган кисәкчәләрне бетерегез. Процесста кулланылган реакция газын шушы дәрәҗәдә торбаларга үткәрергә кирәк.
Берсе -316L дәрәҗәле бакалавр дәрәҗәсеBright Anneal белән эшкәртелгән һәм еш кына чип белән бәйләнештә булган, ләкин процесс реакциясендә катнашмаган газлар өчен кулланыла, мәсәлән, GN2 һәм CDA. Берсе - AP торбасы (Яктырту һәм җыю), ул махсус эшкәртелмәгән һәм гадәттә газ белән тәэмин итү линияләре буларак кулланылмаган тышкы торбаларның икеләтә җыелмасы өчен кулланыла.
04 Торбаүткәргеч төзелеше
Торба авызын эшкәртү - бу төзелеш технологиясенең төп пунктларының берсе. Торба үткәргечне кисү һәм алдан әзерләү чиста мохиттә башкарыла, һәм шул ук вакытта кисү алдыннан торба үткәргеч өслегендә зарарлы эзләр яки зыян булмавы тәэмин ителә. Торба үткәргечне ачар алдыннан торба үткәргечтә азот белән юу өчен әзерлек эшләре башкарылырга тиеш. Гади рәвештә, югары чисталыклы һәм югары чисталыклы газ үткәрү һәм бүлү торба үткәргечләрен зур агым белән тоташтыру өчен эретеп ябыштыру кулланыла, ләкин турыдан-туры эретеп ябыштыру рөхсәт ителми. Корпус тоташтырулары кулланылырга тиеш, һәм кулланылган торба материалы эретеп ябыштыру вакытында структурасында үзгәрешләр булмаска тиеш. Әгәр углерод күләме артык югары булган материал эретеп ябыштырылса, эретеп ябыштыру өлешенең һава үткәрүчәнлеге торба эчендәге һәм тышындагы газның бер-берсенә үтеп керүенә китерәчәк, ташучы газның чисталыгын, корылыгын һәм чисталыгын бозачак, бу җитди нәтиҗәләргә китерәчәк һәм җитештерү сыйфатына тәэсир итәчәк.
Кыскасы, югары чисталыклы газ һәм махсус газ тапшыру торбалары өчен махсус эшкәртелгән югары чисталыклы дат басмас корыч торба кулланылырга тиеш, бу югары чисталыклы торба системасының (шул исәптән торбаүткәргечләр, торба фитинглары, клапаннар, VMB, VMP) югары чисталыклы газ бүлүдә мөһим миссияне башкаруына китерә.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 26 ноябре