As ярымүткәргечһәм микроэлектрон технологияләр югары җитештерүчәнлеккә һәм югары интеграциягә таба үсә, электрон махсус газларның чисталыгына югары таләпләр куела. Purгары чисталыклы газ үткәргеч технологиясе - югары чисталыклы газ белән тәэмин итү системасының мөһим өлеше. Бу югары чиста газларны газ куллану пунктларына таләпләргә туры китереп, квалификацияле сыйфатны саклап калу өчен төп технология.
Purгары чисталык торба технологиясе системаның дөрес дизайнын, торба җиһазларын һәм ярдәмче материалларны сайлау, төзелеш һәм монтаж һәм сынауны үз эченә ала.
01 Газ җибәрү торбаларының гомуми төшенчәсе
Барлык югары чисталык һәм югары чисталык газлары терминал газ ноктасына торбалар аша ташылырга тиеш. Газ өчен процессның сыйфат таләпләрен канәгатьләндерү өчен, газ экспорт индексы билгеле булганда, торба системасының материал сайлау һәм төзелеш сыйфатына игътибар итү кирәк. Газ җитештерү яки чистарту җиһазларының төгәллегенә өстәп, ул торба системасының күп факторларына тәэсир итә. Шуңа күрә торбаларны сайлау тиешле чистарту индустриясе принципларын үтәргә һәм торбалар материалын рәсемнәрдә билгеләргә тиеш.
02Газ ташуда югары чисталык торба үткәргечләренең әһәмияте
Highгары чисталыклы торбаларның югары чисталыклы газ ташудагы әһәмияте Датсыз корыч эретү процессында һәр тон 200г газны үзләштерә ала. Дат басмаган корыч эшкәртелгәннән соң, аның өслегенә төрле пычраткыч матдәләр тыгылып кына калмый, ә металл тактасына билгеле күләмдә газ да сеңә. Бору торбасы аша һава агымы булганда, металл үзләштергән газ өлеше яңадан һава агымына керәчәк һәм саф газны пычратачак.
Торбадагы һава агымы өзлексез булганда, торба үтеп барган газда басымны үзләштерә. Airава агымы туктагач, торба белән кушылган газ басымны киметү анализын ясый, һәм анализланган газ шулай ук торбадагы саф газны пычраклык итеп кертә.
Шул ук вакытта, адсорбция һәм анализ циклы торбаның эчке өслегендәге металлның билгеле күләмдә порошок җитештерүенә китерәчәк. Бу металл тузан кисәкчәсе торбадагы саф газны пычрата. Торбаның бу характеристикасы бик мөһим. Ташланган газның чисталыгын тәэмин итү өчен, торбаның эчке өслегенең гаять зур шома булуы гына түгел, ә шулай ук киемнең югары чыдамлыгы булырга тиеш.
Газ коррозицион үзенчәлекләргә ия булганда, торбалар өчен коррозиягә чыдам дат басмас корыч торбалар кулланылырга тиеш. Otherwiseгыйсә, коррозия аркасында торбаның эчке өслегендә коррозия таплары барлыкка киләчәк. Авыр очракларда зур металл кисәкләре суырылыр яки хәтта тишелер, шуның белән ташылган чиста газны пычратыр.
03Труба материалы
Торбаның материаль сайлануы куллану ихтыяҗларына карап сайланырга тиеш. Торбаның сыйфаты, гадәттә, торбаның эчке өслегенең тупаслыгына карап үлчәнә. Төгәллек түбән булса, кисәкчәләр йөртү мөмкинлеге азрак. Гадәттә өч төргә бүленә:
БерсеEP класс 316L торба, электролитик яктан бизәлгән (Электро-Поляк). Ул коррозиягә чыдам һәм түбән тупаслыгы бар. Rmax (үзән биеклегенә максималь биеклек) якынча 0,3μм яки аннан да азрак. Аның иң югары яссылыгы бар һәм микро-токлы агымнарны формалаштыру җиңел түгел. Пычратылган кисәкчәләрне бетерегез. Процесста кулланылган реакция газы бу дәрәҗәдә торба үткәрелергә тиеш.
Берсе аБА класс 316Лторба, Якты Анналь белән эшкәртелгән һәм еш чип белән контактта булган, ләкин GN2 һәм CDA кебек процесс реакциясендә катнашмаган газлар өчен кулланыла. Берсе - AP торбасы (Annealing & Picking), ул махсус эшкәртелми һәм гадәттә газ белән тәэмин итү линиясе буларак кулланылмаган тышкы торбаларның ике комплекты өчен кулланыла.
04 Торба үткәргече
Торба авызын эшкәртү - бу төзелеш технологиясенең төп пунктларының берсе. Бору торбасын кисү һәм префабрикация чиста мохиттә алып барыла, һәм шул ук вакытта кисү алдыннан торба өслегендә зарарлы билгеләр яки зыян булмаска тиеш. Бору торбасында азотны агызуга әзерлек торбаны ачканчы ясалырга тиеш. Принципта эретеп ябыштыру югары чисталык һәм югары чисталыклы газ җибәрү һәм тарату торбаларын зур агым белән тоташтыру өчен кулланыла, ләкин туры эретеп ябыштыру рөхсәт ителми. Корыч буыннары кулланылырга тиеш, һәм эретелгән торба материалы эретеп ябыштыру вакытында структурасында үзгәрешләр булмаска тиеш. Әгәр дә бик күп углеродлы материал эретеп ябыштырылса, эретеп ябыштыручы өлешнең һава үткәрүчәнлеге торба эчендәге һәм тыштагы газның бер-берсенә үтеп керүенә китерәчәк, китерүче газның чисталыгын, коры һәм чисталыгын җимерәчәк, бу җитди нәтиҗәләргә китерәчәк. һәм җитештерү сыйфатына тәэсир итә.
Йомгаклап әйткәндә, югары чисталыклы газ һәм махсус газ үткәргеч торбалар өчен махсус чистартылган дат басмас корыч торба кулланылырга тиеш, бу югары чисталык торба системасын (шул исәптән торба, торба җиһазлары, клапаннар, VMB, VMP) били. югары чисталыклы газ бүлүдә мөһим миссия.
Пост вакыты: 26-нчы ноябрь