Ни өчен UHP газ белән тәэмин итү системалары шулкадәр мөһим?
Ярымүткәргечләр җитештерүдә — гравюра ясау, CVD, ион имплантациясе һәм литография кебек процессларда — процесс газлары бик югары чисталыкта булырга тиеш, гадәттә 99,9999% (6N) яки хәтта 99,99999% (7N). Хәтта ppb (миллиардка өлеш) яки ppt (триллионга өлеш) дәрәҗәсендәге эзлекле пычраткычлар да — мәсәлән, дым яки кислород — капка оксиды сирәкләнүе, металл бушлыклар яки пластиналарда кыска ялганышлар кебек үлемечле кимчелекләргә китерергә мөмкин, бу исә бөтен партияләрне юкка чыгарырга мөмкин.
Шуңа күрә UHP газ җибәрү системасының максаты - газларны чыганактан технологик коралга кадәр чисталыгы начарланмыйча күчерү, һәр ноктада пычрануны һәм агып чыгуны булдырмау.
Ни өчен EP торбалары UHP системаларының нигезенә әйләнә?
EP (электрополированиеләнгән) торбалар электрохимик полосалау процессын үтә торган дат басмас корычтан ясалган, бу көзге сыман эчке өслек бирә. Бу аны UHP газ тарату өчен алыштыргысыз "артерия" итә.
Иң югары чисталык – чыганактан саклану
EP эшкәртү эчке өслекнең тигезсезлеген (Ra) 0,13 мкм – 0,25 мкм яки аннан да түбәнрәккә кадәр киметә. Бу ультра шома өслек микроскопик ярыкларны һәм адсорбция урыннарын бетерә, кисәкчәләрнең, металл ионнарының яки дымның ябышуына урын калдырмый.
Коррозиягә каршы торучанлыкны арттыру – сафлыкны саклау
Электроплиткалау этабы өслек пычракларын бетерә һәм хром-оксидка бай пассив катлам барлыкка китерә, Cl₂, CF₄ һәм HCl кебек коррозияле газларга каршы торучанлыкны сизелерлек яхшырта. Бу торба стеналарының коррозиясен булдырмый, бу исә кисәкчәләр яки газ пычрануына китерергә мөмкин.
Агым нәтиҗәлелеген арттыру һәм тизрәк чистарту
Эчке стенаның тигез булуы агымга каршылыкны киметә һәм системаны чистартуны һәм газны алыштыруны тизләтә. Тиз газ алыштыруны таләп иткән процессларда бу цикл вакытын кыскарта һәм заводның җитештерүчәнлеген арттыра.
Премиум материал – "Таҗ" стандарты
Югары сыйфатлы EP торбалары 316L VIM-VAR (Вакуум индукциясе + Вакуум дугасы белән яңадан эретү) дат басмас корычтан җитештерелә. Бу икеләтә эретү процессы төп металлның бик күп күләмдә чисталыгын тәэмин итә, бу EPның югары сыйфатлы эшләвенә ирешү өчен төп шарт булып тора.
Төп кушымталар сценарийлары
•
Төп процесслар– Графировка, йөрәк-кан тамырлары авырулары, ион имплантациясе һәм литография өчен югары чисталыклы реактив газлар китерү.
•
Махсус газлар– SiH₄, PH₃, Cl₂ һәм BCl₃ кебек янучан, агулы яки коррозияле газлар белән куркынычсыз эш итү. Бик куркыныч газлар өчен еш кына икеләтә сыйдырышлы EP торбалары кулланыла (газ өчен эчке торба, агып чыгуны күзәтү өчен тышкы каплау эвакуацияләнгән яки азот белән чистартылган).
•
Критик җиһазлар– Газ бүлү панельләрендә (ГБП), газ шкафларында һәм эчке өслекләрнең бик чиста булуы мәҗбүри булган эшкәртү кораллары тоташтыргычларында кулланыла.
Торбалардан тыш: тулы UHP системасы өчен башка кирәкле әйберләр
Системаның тулысынча бөтенлеген тәэмин итү өчен, түбәндәгеләрне дә үз эченә алырга тиеш:
•
Тулысынча автоматик орбиталь эретеп ябыштыру– ISO 5 класс (100 класс) яки аннан да яхшырак чиста бүлмәләрдә башкарыла, кул белән эретеп ябыштырудагы аермаларны һәм пычрану куркынычларын бетерә.
•
Металлдан эшләнгән өслек герметиклары– Мәсәлән, VCR® яки W-Seal төрләре, алар нуль агып чыгучанлык өчен металл прокладкаларга таяна.
•
Җентекле чистарту һәм төргәкләү– EP торбалары гадәттә югары сафлыклы су белән чистартыла, киптерелә һәм азот белән эшкәртелә, аннары чиста бүлмә төргәгенә икеләтә капчыкка тутырыла, шулай итеп алар урнаштырылганчы "җибәрелгәннән соң" сафлыгын саклыйлар.
EP торбалары гади торба гына түгел - ул ярымүткәргеч газ китерүдә беренче саклану сызыгы. Аның ультра шома өслеге, югары коррозиягә чыдамлыгы һәм югары сыйфатлы материал чисталыгы пластина чыгышына, җайланманың ышанычлылыгына һәм гомуми җитештерү табышына турыдан-туры йогынты ясый. 5 нм дан түбәнрәк төеннәр һәм кимчелекләр өчен бюджетлар дөньясында EP торбалары мәҗбүри түгел - ул нигез булып тора.
Бастырылган вакыты: 2026 елның 5 августы